Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
基于MEMS的无阀泵研究进展 | |
白兰; 冯志庆; 吴一辉 | |
2007-08-15 | |
发表期刊 | 微细加工技术 |
ISSN | 1003-8213 |
期号 | 4 |
摘要 | 微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势。主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景。 |
关键词 | Mems 微型无阀泵 扩张管/收缩管 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21335 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 白兰,冯志庆,吴一辉. 基于MEMS的无阀泵研究进展[J]. 微细加工技术,2007(4). |
APA | 白兰,冯志庆,&吴一辉.(2007).基于MEMS的无阀泵研究进展.微细加工技术(4). |
MLA | 白兰,et al."基于MEMS的无阀泵研究进展".微细加工技术 .4(2007). |
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