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基于MEMS的无阀泵研究进展
白兰; 冯志庆; 吴一辉
2007-08-15
发表期刊微细加工技术
ISSN1003-8213
期号4
摘要微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势。主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景。
关键词Mems 微型无阀泵 扩张管/收缩管
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21335
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
白兰,冯志庆,吴一辉. 基于MEMS的无阀泵研究进展[J]. 微细加工技术,2007(4).
APA 白兰,冯志庆,&吴一辉.(2007).基于MEMS的无阀泵研究进展.微细加工技术(4).
MLA 白兰,et al."基于MEMS的无阀泵研究进展".微细加工技术 .4(2007).
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