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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：192/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
激光聚焦小型三自由度并联机构分析及控制策略研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  王施相
Adobe PDF(2180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：194/3  |  提交时间：2016/04/11
激光聚焦  3-prs并联机构  运动学  动力学  控制策略  联合仿真  
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：625/2  |  提交时间：2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制