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4m望远镜三镜系统研究设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  李明璇
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望远镜  三镜  面形评价  支撑  结构优化  误差分析  
激光聚焦小型三自由度并联机构分析及控制策略研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  王施相
Adobe PDF(2180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：191/3  |  提交时间：2016/04/11
激光聚焦  3-prs并联机构  运动学  动力学  控制策略  联合仿真  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/81  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法