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激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 33-38
作者:  熊木地;  谭久彬;  邢忠宝
收藏  |  浏览/下载：383/0  |  提交时间：2013/03/11
平稳驱动  机电混合滤波器  锁相环速度控制  模糊参数自调整  
压电驱动超精密定位工作台的研究 期刊论文
机械设计与研究, 2003, 期号: 02, 页码: 44-45+8
作者:  孙宝玉;  林洁琼;  王登月;  任建岳
caj(45Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：462/71  |  提交时间：2013/03/11
压电陶瓷微位移器件  精密定位  柔性铰链  线切割  
The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2003, 卷号: 52, 期号: 4, 页码: 809-812
作者:  Huang W. Z.;  Li Y. J.;  Gu Y. Q.;  Zhang J.;  You Y. L.;  Cun Y. S.;  He Y. L.;  Lei A. L.;  Chen C. L.;  Ma Y. Y.;  Jin C. S.
Adobe PDF(159Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：558/160  |  提交时间：2012/10/21