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基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者:  姬琪;  王红园
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/101  |  提交时间：2016/07/06
直线电机  气浮导轨  定位平台  闭环控制  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/161  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统