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光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:  华洋洋;  巩岩
caj(886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/118  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  光刻投影物镜  支撑结构  结构优化  有限元  
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/126  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/87  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析