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光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:  赵磊;  巩岩
caj(1523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：472/129  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形