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关联成像目标重构的伪逆迭代降噪方法 期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 88-95
作者:  张红伟;  郭树旭;  张驰;  羊超;  曹军胜;  郜峰利
caj(1641Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/102  |  提交时间：2018/04/09
关联成像  目标重构  伪逆矩阵  迭代运算  峰值信噪比  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/81  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法