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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于表面等离激元的硅基微结构材料红外光学特性研究
学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
刘小翼
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提交时间:2019/09/23
表面等离极化激元
法布里-珀罗谐振
损耗抑制
场增强
红外吸收
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Extreme ultraviolet lithography
Fabrication
Mirrors
Reflection
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Quantum Efficiency Calibration of UV-VUV Photomultiplier Tube
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Li, Hanshuang
;
Li, Bo
;
Wang, Shurong
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提交时间:2019/09/17
Quantum efficiency
Calibration
Detectors
Efficiency
Fused silica
Photomultipliers
Phototubes
Remote sensing
Tubes (components)
Uncertainty analysis
紫外-真空紫外光电倍增管量子效率定标
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 158-161
作者:
李寒霜
;
李博
;
王淑荣
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提交时间:2019/09/17
探测器
紫外-真空紫外
定标
量子效率
光电倍增管
不确定度
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:
Chen, Jian
;
Gao, Hui-Bin
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提交时间:2019/09/17
Laser damage
Carbon dioxide
Carbon dioxide lasers
Damage detection
Thin films