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干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
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菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板  
S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
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计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取  
光学扫描型长程轮廓仪关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  廖家胜
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筒状非球面  长程轮廓仪  分束器  面型重构  面型评价  
Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  文刚
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波长移相干涉仪  可调谐半导体激光器  迭代最小二乘法  两帧差分平均移相算法  移相步长标定  
基于非成像光学的激光整形器件优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  刘丽红
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光学设计  光束整形  非成像光学  微透镜阵列