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10 kW CW diode laser cladding source and thermal effect 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 820-825
作者:  X.-C.Lin;  Y.-W.Zhang;  H.-B.Zhu;  Y.Liu;  L.Qin;  Y.-Q.Ning
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Semiconductor lasers,Cladding (coating),Diodes,Laser cladding  
Error analysis and fabrication of low-stepped mirrors 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 791-803
作者:  M.Zhang;  J.-G.Lv;  J.-Q.Liang;  Z.-Z.Liang;  Y.-X.Qin;  W.-B.Wang
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Mirrors,Absorption spectroscopy,Approximation algorithms,Error analysis,Fabrication,Fourier transform infrared spectroscopy,Fourier transforms,Infrared spectrometers,Interferometry,Iterative methods,Least squares approximations,Polynomial approximation,Prisms,Spectrum analysis  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
Research on the interference technology of high repetition frequency CO2 laser 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 983-990
作者:  Chen, Jian;  Gao, Hui-Bin
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Laser damage  Carbon dioxide  Carbon dioxide lasers  Damage detection  Thin films