中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
作者:  焦庆斌;  巴音贺希格;  谭鑫;  李艳茹;  朱继伟;  吴娜
caj(399Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/115  |  提交时间：2015/04/17
光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：550/174  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
微型红外辐射探测芯片的设计及实验研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112009-1
作者:  梁中翥
Adobe PDF(1341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/144  |  提交时间：2012/05/11