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高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：632/148  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑  
干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135
作者:  周烽;  王辉;  王丽萍
caj(404Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：549/147  |  提交时间：2013/03/11
测量  稳定性分析  干涉测量框架  有限元分析  随机振动分析  
193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：543/153  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法