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Development of spherical wave generating device for lithographic objective wavefront aberration detection 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  Qi K.;  Xiang Y.
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Development of the workbench yaw angle correction mechanism of large grating ruling machine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  Yang C.;  Yu H.;  Mi X.;  Bayanheshig;  Tang Y.
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Research of monolithic XY micro-adjustment mechanism based on compliance matrix 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  Zhang D.;  Zhao L.
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Error analysis and ground verification of high resolution space camera real-time drift angle adjustment 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 9, 页码: 1955-1962
作者:  Wang D.;  Yan D.;  Wu W.;  Sun T.
caj(412Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：187/32  |  提交时间：2015/04/24