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弯曲波导研究进展及其应用 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 176-193
作者:  高峰;  秦莉;  陈泳屹;  贾鹏;  陈超;  梁磊;  陈红;  张星;  宁永强
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：520/152  |  提交时间：2018/04/09
弯曲波导  集成光学  Soi  低损耗波导  
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:  苗斌;  李加东;  张轲;  吴东岷
caj(295Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/127  |  提交时间：2017/09/17
力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)  
原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文
微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123
作者:  李加东;  苗斌;  张轲;  吴东岷
caj(1612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/142  |  提交时间：2017/09/17
原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径