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电磁型平面微电机及其制作工艺 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 120-124
作者:  郭占社;  吴一辉;  宣明;  王淑荣
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平面微电机  Liga工艺  
KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 55-59
作者:  沈蓓军;  王润文;  路敦武;  王立鼎;  梁静秋;  姚劲松
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激光光刻  微细加工  Liga工艺  
准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 64-66
作者:  姚劲松;  王志勤;  王飞;  宣明;  梁静秋;  王一凡
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微型机械  Liga工艺  准liga工艺  微齿轮  
用于微机械工艺的精密电铸设备 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 60-63
作者:  陈英俊;  徐峰林;  宣明
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微型机械  Liga工艺  精密电铸设备  
LIGA工艺探讨 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 06, 页码: 67-70
作者:  王志勤;  姚劲松;  宣明;  王一凡
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Liga工艺  X射线掩模