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准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 64-66
作者:  姚劲松;  王志勤;  王飞;  宣明;  梁静秋;  王一凡
caj(93Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：308/77  |  提交时间：2013/03/11
微型机械  Liga工艺  准liga工艺  微齿轮  
LIGA工艺探讨 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 06, 页码: 67-70
作者:  王志勤;  姚劲松;  宣明;  王一凡
caj(140Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/53  |  提交时间：2013/03/11
Liga工艺  X射线掩模