Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用 | |
姚劲松; 王志勤; 王飞; 宣明; 梁静秋 ; 王一凡
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| 1995-06-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 03页码:64-66 |
| 关键词 | 微型机械 Liga工艺 准liga工艺 微齿轮 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32262 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚劲松,王志勤,王飞,等. 准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用[J]. 光学精密工程,1995(03):64-66. |
| APA | 姚劲松,王志勤,王飞,宣明,梁静秋,&王一凡.(1995).准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用.光学精密工程(03),64-66. |
| MLA | 姚劲松,et al."准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用".光学精密工程 .03(1995):64-66. |
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