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光栅精密位移测量技术发展综述 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752
作者:  高旭;  李舒航;  马庆林;  陈伟
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/93  |  提交时间：2020/08/24
位移测量  光栅  高精度测量  衍射干涉  
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
收藏  |  浏览/下载：260/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
高精度测量孔径光阑面积方法概述 期刊论文
物理学报, 2013, 期号: 16, 页码: 217-223
作者:  陈祥子;  方伟;  王玉鹏;  杨振岭;  全向前
caj(1023Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：590/176  |  提交时间：2014/03/07
高精度测量  测量方法  光阑面积