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多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀 期刊论文
液晶与显示, 2002, 期号: 01, 页码: 59-64
作者:  王大海;  李轶华;  孙艳;  吴渊;  陈国军;  付国柱;  荆海;  万春明
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：659/92  |  提交时间：2013/03/11
多晶硅薄膜晶体管  反应性离子刻蚀  刻蚀速率  选择比  
高纵横比微孔列阵的干刻工艺 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1998, 期号: 04, 页码: 21-24
作者:  卢耀华;  李野;  端木庆铎;  姜德龙;  富丽晨;  田景全
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微孔列阵  干刻  纵横比  选择比