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点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 24-26+30
作者:  于长淞
caj(1837Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：593/179  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  小孔掩模  聚焦离子束  扫描电镜