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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：283/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
作者:  苏东奇;  田伟;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
caj(941Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/76  |  提交时间：2016/07/06
光学检测  绝对检测  干涉术  重力变形  有限元方法  计算仿真  
光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张艳微
Adobe PDF(1884Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/2  |  提交时间：2015/05/03
干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析  
基于有限元法的面形反演模型 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78
作者:  刘永明;  谢军;  田伟;  隋永新;  刘震宇
caj(408Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/90  |  提交时间：2015/04/17
绝对检测  旋转平均法  反演模型  干涉检测  Zernike多项式  
基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 222-227
作者:  张艳微;  苏东奇;  隋永新;  杨怀江
caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/116  |  提交时间：2015/04/17
测量  误差补偿  旋转平均法  旋转非对称面形  绝对检测