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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者: 张璐; 向阳 收藏  |  浏览/下载:264/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测(英文) 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99 作者: 苏东奇; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江 caj(941Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:261/75  |  提交时间:2016/07/06 光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 张艳微 Adobe PDF(1884Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:422/2  |  提交时间:2015/05/03 干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 基于有限元法的面形反演模型 期刊论文 光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78 作者: 刘永明; 谢军; 田伟; 隋永新; 刘震宇 caj(408Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:461/88  |  提交时间:2015/04/17 绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式 |
| 基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 222-227 作者: 张艳微; 苏东奇; 隋永新; 杨怀江 caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/114  |  提交时间:2015/04/17 测量 误差补偿 旋转平均法 旋转非对称面形 绝对检测 |