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利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度 期刊论文
光学技术, 2017, 页码: 208-211
作者:  岳巾英;  王泰升;  李素文
caj(699Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:397/121  |  提交时间:2018/04/09
功率谱密度(Psd)  表面粗糙度(Ra)  离子束抛光  
离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 06, 页码: 1572-1579
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  李锐钢;  郑立功;  张学军
caj(398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:278/117  |  提交时间:2016/07/06
光学制造  离轴非球面  离子束抛光  溅射效应  去除函数  
离子束抛光去除函数计算与抛光实验 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 01, 页码: 31-39
作者:  唐瓦;  邓伟杰;  郑立功;  张学军
caj(365Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:245/112  |  提交时间:2016/07/06
光学加工  离子束抛光  溅射效应  法拉第杯扫描  去除函数  
纳米级面形精度光学平面镜加工 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 4, 页码: 616-621
作者:  张峰
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:440/162  |  提交时间:2015/04/17
光学加工  环带抛光  离子束抛光  材料去除函数  
纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
caj(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:447/70  |  提交时间:2013/03/11
超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127