Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度 | |
岳巾英; 王泰升; 李素文 | |
2017-05-15 | |
发表期刊 | 光学技术 |
页码 | 208-211 |
摘要 | 利用功率谱密度(PSD)评价光学表面粗糙度具有传统评价手段(Ra)所不具备的优势。给出了功率谱密度的计算方法,以及抽样方向与一维PSD曲线的关系。在离子束抛光K9玻璃实验中引入PSD曲线,以评价抛光光学零件的光学表面粗糙度,结合PSD曲线与Ra值能够更全面的指导光学加工。 |
关键词 | 功率谱密度(Psd) 表面粗糙度(Ra) 离子束抛光 |
DOI | 54B635653A85BD34CDEDD4ABEA5267B6 |
语种 | 中文 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58574 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 岳巾英,王泰升,李素文. 利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度[J]. 光学技术,2017:208-211. |
APA | 岳巾英,王泰升,&李素文.(2017).利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度.光学技术,208-211. |
MLA | 岳巾英,et al."利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度".光学技术 (2017):208-211. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面(699KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 |
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