Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 纳米级光学超精密加工技术 | |
| 于劲; 曹健林 | |
| 1992-12-26 | |
| 发表期刊 | 物理
 |
| 期号 | 12页码:726-731 |
| 关键词 | 超精密加工技术:7094 浮法抛光:3425 纳米级:3411 表面粗糙度:2834 Spdt:2615 离子束抛光:2163 亚纳米:1538 光电子学:1298 原子:1190 主轴:1127 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32364 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于劲,曹健林. 纳米级光学超精密加工技术[J]. 物理,1992(12):726-731. |
| APA | 于劲,&曹健林.(1992).纳米级光学超精密加工技术.物理(12),726-731. |
| MLA | 于劲,et al."纳米级光学超精密加工技术".物理 .12(1992):726-731. |
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