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纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
caj(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/61  |  提交时间：2013/03/11
超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127