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用于光学相干层析系统的三反射镜光束整形扫描机构的光学设计 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 11, 页码: 2654-2661
作者:  王方雨;  孙强;  常颖;  戴明;  刘昕晖;  王成
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光学系统设计  光学相干层析  激光光束整形  反射镜系统设计  
采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  冯睿;  张大亮
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：577/166  |  提交时间：2015/04/17
无掩模光刻  照明系统  激光光束整形  矩形平顶光束  自由曲面  
反射式椭圆高斯光束平顶整形系统 期刊论文
发光学报, 2013, 期号: 07, 页码: 940-947
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  柳华;  魏忠伦;  康玉思;  冯睿;  吕伟振
caj(1009Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/174  |  提交时间：2014/03/07
激光光束整形  椭圆高斯光束  平顶光束  反射系统