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采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  冯睿;  张大亮
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：446/111  |  提交时间：2015/04/17
无掩模光刻  照明系统  激光光束整形  矩形平顶光束  自由曲面