Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 | |
孟祥翔; 刘伟奇; 魏忠伦 ; 柳华; 康玉思; 冯睿; 张大亮
| |
| 2014-05-25 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| 期号 | 5页码:1505-1510 |
| 摘要 | 为了实现无掩模光刻系统所需求的矩形准直平顶激光光束照明,提高照明系统的能量利用率,提出了一种利用双自由曲面整形的照明系统设计方法。根据光程守恒原理和折射定律,推导了积分形式的双自由曲面面形方程;采用数值解法求解积分方程,分别设计了含有双自由曲面的双透镜整形单元和单透镜整形单元的照明系统,使用光学设计软件对两种照明系统进行模拟,得到两种照明系统的照明均匀性在93%以上,能量利用率大于91%。结果表明,两种照明系统均能实现无掩模光刻系统的高均匀性、高能量利用率照明。 |
| 关键词 | 无掩模光刻 照明系统 激光光束整形 矩形平顶光束 自由曲面 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42932 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孟祥翔,刘伟奇,魏忠伦,等. 采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统[J]. 红外与激光工程,2014(5):1505-1510. |
| APA | 孟祥翔.,刘伟奇.,魏忠伦.,柳华.,康玉思.,...&张大亮.(2014).采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统.红外与激光工程(5),1505-1510. |
| MLA | 孟祥翔,et al."采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统".红外与激光工程 .5(2014):1505-1510. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统.（893KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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