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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备
期刊论文
微细加工技术, 2005, 期号: 04, 页码: 76-80
作者:
金霞
;
梁静秋
;
李佳
;
赵莉娜
;
王维彪
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提交时间:2013/03/11
微显示器件
发光二极管阵列
隔离沟槽
湿法腐蚀
欧姆接触
Algainp
Gap
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
期刊论文
光子学报, 2004, 期号: 06, 页码: 755-757
作者:
鞠挥
;
张平
;
王淑荣
;
吴一辉
caj(45Kb)
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浏览/下载:484/79
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提交时间:2013/03/11
(111)硅片
闪耀光栅
体硅技术
湿法腐蚀
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:
鞠挥
;
张平
;
王淑荣
;
吴一辉
caj(46Kb)
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提交时间:2013/03/11
(111)硅片
闪耀光栅
体硅技术
微制造
Mems
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