Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作 | |
鞠挥; 张平 ; 王淑荣; 吴一辉
| |
| 2004-06-25 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 06页码:755-757 |
| 关键词 | (111)硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29965 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鞠挥,张平,王淑荣,等. 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作[J]. 光子学报,2004(06):755-757. |
| APA | 鞠挥,张平,王淑荣,&吴一辉.(2004).偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作.光子学报(06),755-757. |
| MLA | 鞠挥,et al."偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作".光子学报 .06(2004):755-757. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 偏晶向_111_硅片闪耀光栅的制作.ca（45KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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