Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备 | |
金霞; 梁静秋 ; 李佳; 赵莉娜; 王维彪
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| 2005-12-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 04页码:76-80 |
| 关键词 | 微显示器件 发光二极管阵列 隔离沟槽 湿法腐蚀 欧姆接触 Algainp Gap |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30335 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金霞,梁静秋,李佳,等. 发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备[J]. 微细加工技术,2005(04):76-80. |
| APA | 金霞,梁静秋,李佳,赵莉娜,&王维彪.(2005).发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备.微细加工技术(04),76-80. |
| MLA | 金霞,et al."发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备".微细加工技术 .04(2005):76-80. |
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