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| MOEMS集成波长选择开关的设计及研究 期刊论文
微纳电子技术, 2017, 页码: 597-604+626
作者: 时建; 梁静秋 ; 陈成; 吕金光; 秦余欣; 高丹
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波分复用 波长选择开关 微光机电系统(Moems) 光通信 电磁驱动 |
| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者: 张轲; 苗斌; 丁祥桢; 顾智琦; 潘天龙; 李加东; 吴东岷; 张秋菊
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高频硅基超声雾化器 有限元分析 谐振频率 变幅杆 微机电系统 |
| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者: 苗斌; 李加东; 张轲; 吴东岷
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力值计量 悬臂梁 弹性系数 微机电系统 绝缘衬底上的硅(Soi) |
| 空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪研究 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 277-298
作者: 梁静秋; 梁中翥; 吕金光; 秦余欣; 田超; 王维彪
caj(869Kb) | 收藏 | 浏览/下载：329/120 | 提交时间：2016/07/06
红外光谱仪 傅里叶变换红外光谱仪 微型 微光机电系统 |
| 高g_n值微加速度开关设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 期号: 5
作者: 杨会玲; 杨会伟; 王军
caj(306Kb) | 收藏 | 浏览/下载：453/84 | 提交时间：2012/09/25
微机电系统 微引信 微加速度开关 |
| 一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 06, 页码: 637-642
作者: 周连群; 吴一辉; 张平; 宣明; 贾宏光; 李正刚
caj(277Kb) | 收藏 | 浏览/下载：485/107 | 提交时间：2013/03/11
微硅片狭缝 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 分辨率 波长标定公式 |
| 光开关研究进展 期刊论文
微纳电子技术, 2005, 期号: 04, 页码: 195-199
作者: 王刚; 明安杰; 梁静秋
caj(571Kb) | 收藏 | 浏览/下载：550/125 | 提交时间：2013/03/11
光通信 光开关 微光机电系统 |
| 微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者: 鞠挥; 吴一辉
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微型光谱仪 微机电系统 微光学 微制造技术 |
| 用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文
中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4
作者: 曲炳郡; 刘晓鹏; 李路明; 王立鼎
 caj(166Kb) | 收藏 | 浏览/下载：490/98 | 提交时间：2013/03/11
形状记忆合金 薄膜 微型机电系统 冷轧 溅射 原子力显微镜 |
| 微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者: 梁静秋
caj(1887Kb) | 收藏 | 浏览/下载：443/69 | 提交时间：2013/03/11
微光机电系统:9087 涡轮喷气发动机:2324 国内外研究:1475 微型机电系统:1430 微机器人:1346 微结构:1222 微加速度计:1182 微制造技术:1089 微驱动器:986 微机械:962 |
