中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 caj(8435Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：316/0 \| 提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜像质补偿技术柔顺微动机构主动变形镜
	主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究期刊论文光学精密工程, 2002, 期号: 02, 页码: 201-204 作者: 叶露 caj(37Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：256/45 \| 提交时间：2013/03/11 反射镜轻量化微动机构
	平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究期刊论文仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 227-231 作者: 张海成 caj(156Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：357/66 \| 提交时间：2013/03/11 一体型平行弹簧:9116 结构设计:2125 微动机构:1883 动态特性:1447 位置控制:1398 结构模型:994 驱动部分:985 位移特性:980 转动分量:973 探针扫描:951

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