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基于数字微镜阵列的平顶光束空间整形 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 6, 页码: 916-920
作者:  娄艳阳;  郑贤良;  张世超;  鹿伟民;  李辉;  熊大曦
caj(244Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/113  |  提交时间：2017/09/17
激光光学  光束整形  数字微镜阵列  误差扩散法  多平顶光束  
采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  冯睿;  张大亮
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/133  |  提交时间：2015/04/17
无掩模光刻  照明系统  激光光束整形  矩形平顶光束  自由曲面  
反射式椭圆高斯光束平顶整形系统 期刊论文
发光学报, 2013, 期号: 07, 页码: 940-947
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  柳华;  魏忠伦;  康玉思;  冯睿;  吕伟振
caj(1009Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：488/153  |  提交时间：2014/03/07
激光光束整形  椭圆高斯光束  平顶光束  反射系统