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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：203/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:  周辉;  张善文;  崔继承;  王玮;  赵旭龙;  李晓天
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/164  |  提交时间：2017/09/17
罗兰光栅  刻线误差  曲率半径误差  定位误差  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/119  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 43-52
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(2095Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：560/96  |  提交时间：2013/03/11
光栅  快速傅里叶变换  衍射波前  光栅指标  光栅刻线误差