中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/113  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
两轴多级双联齿轮减速机构的研究 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1997, 期号: 03, 页码: 62-64
作者:  夏仁丰;  李苏红
caj(163Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/66  |  提交时间：2013/03/11
双联齿轮  减速机构