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微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
收藏  |  浏览/下载：374/0  |  提交时间：2019/09/17
共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测