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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  张春雷;  徐乐;  刘健;  马占龙;  王飞;  谷永强;  代雷;  彭石军
caj(596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/130  |  提交时间：2017/09/17
氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)  
相位扫描法制作变栅距光栅(英文) 期刊论文
光电工程, 2004, 期号: 11, 页码: 35-38
作者:  时轮;  胡德金;  郝德阜
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/72  |  提交时间：2013/03/11
变线距光栅  相位扫描  亚纳米  
一种亚纳米级变栅距衍射光栅制作方法的研究 期刊论文
光学技术, 2003, 期号: 03, 页码: 320-322+326
作者:  时轮
caj(66Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：487/45  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅  变栅距分度  亚纳米  
浮法抛光亚纳米级光滑表面 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 06, 页码: 824-825
作者:  高宏刚;  曹健林;  陈星旦
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：491/51  |  提交时间：2013/03/12
超光滑表面  亚纳米  浮法抛光  
纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
caj(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/66  |  提交时间：2013/03/11
超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127