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五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
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衍射光栅  精密测量  五维自由度