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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [9]
作者
巩岩 [2]
薛金来 [2]
李佃蒙 [2]
文献类型
期刊论文 [7]
专利 [4]
发表日期
2018 [2]
2015 [1]
2012 [2]
2011 [2]
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2009 [1]
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资助项目
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102263363A [1]
102306533A [1]
102496838A [1]
收录类别
EI [3]
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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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浏览/下载:403/133
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:
戴岑
;
巩岩
;
张昊
;
李佃蒙
;
薛金来
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浏览/下载:374/0
  |  
提交时间:2019/09/17
共焦显微
微分干涉差
标量衍射
膜层结构
缺陷探测
N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计
期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 957-963
作者:
薛金来
;
巩岩
;
李佃蒙
caj(524Kb)
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浏览/下载:376/129
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提交时间:2016/07/06
光学设计
显微物镜
平场复消色差
大视场
高功率非稳腔激光器输出端腔镜安装装置 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:
邵春雷
;
李殿军
;
孟范江
;
郭劲
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浏览/下载:531/75
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提交时间:2012/08/29
一种大功率可调电感 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-04, 公开日期: 2012-08-29
发明人:
孟凡江
;
李殿军
;
邵春雷
;
杨贵龙
;
李世明
Adobe PDF(292Kb)
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浏览/下载:699/116
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提交时间:2012/08/29
一种气体激光器弧光放电保护系统 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2012-08-29
发明人:
孟范江
;
李殿军
;
郭劲
;
郭立红
Adobe PDF(296Kb)
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浏览/下载:781/120
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提交时间:2012/08/29
大功率CO2激光照射下倍频晶体的自动调节装置 (发明)
专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-09-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:
李殿军
;
孟范江
;
谢冀江
;
郭劲
;
杨贵龙
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浏览/下载:348/46
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提交时间:2012/08/29
光纤端面的断裂机理及制备方法
期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 11, 页码: 2362-2367
作者:
李殿军
;
李世民
;
孟范江
Unknown(1174Kb)
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浏览/下载:588/290
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提交时间:2012/09/25
高功率TEACO_2激光器非稳腔实验研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2010, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2478-2482
作者:
杨贵龙
;
邵春雷
;
郭汝海
;
孟范江
;
李殿军
;
郭立红
;
郭劲
caj(561Kb)
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浏览/下载:409/68
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提交时间:2012/09/25
大功率脉冲TEACO_2激光器控制系统设计
期刊论文
激光与红外, 2010, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 843-846
作者:
孟范江
;
杨贵龙
;
李殿军
;
郭劲
;
郭立红
;
邵春雷
caj(418Kb)
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浏览/下载:593/90
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提交时间:2012/09/25