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| Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文 激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285 作者: 方斌 ; 田伟 ; 王汝冬 ; 朱岩 ; 张永凯 ; 王飞
caj(1539Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:330/128  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 光学检测 平面标准镜 有限元法 参考面面形 |
| 交叉滚柱导轨运动台模态研究 期刊论文 机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 30-32 作者: 张永凯 ; 田伟 ; 王汝冬 ; 方斌![](/image/person.jpg)
caj(201Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:229/100  |  提交时间:2016/07/06 交叉滚柱导轨 运动台 模态分析 实验验证 |
| 高精度光学元件面形检测工装夹具 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09 发明人: 田伟 ; 王汝冬 ; 王平 ; 王立朋; 隋永新![](/image/person.jpg)
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| 一种大承载光学元件倾斜调整机构 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210091446.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12 发明人: 王汝冬 ; 田伟 ; 王平 ; 王立朋; 隋永新![](/image/person.jpg)
浏览  |   Adobe PDF(593Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:366/112  |  提交时间:2015/02/10 |
| 支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文 中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63 作者: 王平 ; 田伟 ; 王汝冬 ; 王立朋
caj(913Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:412/140  |  提交时间:2014/03/07 光学设计 光刻投影物镜 波前畸变 应力双折射 融石英 元件支撑 |
| 振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108 作者: 王汝冬 ; 田伟 ; 王平 ; 王立朋
caj(424Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:635/166  |  提交时间:2013/03/11 测量 干涉测量 误差分析 振动 面形误差 |
| 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232 作者: 田伟 ; 王平 ; 王汝冬 ; 王立朋; 隋永新![](/image/person.jpg)
caj(724Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:556/161  |  提交时间:2013/03/11 应用光学 193nm光刻 运动学支撑 光学检测 有限元法 |
| 反射镜高精度装夹装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 发明人: 王平 ; 田伟 ; 王汝冬 ; 王立朋; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
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| Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文 光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107 作者: 王平 ; 王汝冬 ; 田伟 ; 王立朋; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
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| 旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文 光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1 作者: 王平 ; 田伟 ; 王汝冬 ; 王立朋; 隋永新 ; 杨怀江![](/image/person.jpg)
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