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Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:  方斌;  田伟;  王汝冬;  朱岩;  张永凯;  王飞
caj(1539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/114  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  光学检测  平面标准镜  有限元法  参考面面形  
交叉滚柱导轨运动台模态研究 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 30-32
作者:  张永凯;  田伟;  王汝冬;  方斌
caj(201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：207/83  |  提交时间：2016/07/06
交叉滚柱导轨  运动台  模态分析  实验验证  
高精度光学元件面形检测工装夹具 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210199493.7, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  田伟;  王汝冬;  王平;  王立朋;  隋永新
浏览  |  Adobe PDF(2912Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/104  |  提交时间：2015/02/10
一种大承载光学元件倾斜调整机构 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210091446.0, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋;  隋永新
浏览  |  Adobe PDF(593Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/96  |  提交时间：2015/02/10
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋
caj(913Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/124  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  光刻投影物镜  波前畸变  应力双折射  融石英  元件支撑  
振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：537/148  |  提交时间：2013/03/11
测量  干涉测量  误差分析  振动  面形误差  
193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232
作者:  田伟;  王平;  王汝冬;  王立朋;  隋永新
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/141  |  提交时间：2013/03/11
应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法  
反射镜高精度装夹装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(980Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：451/77  |  提交时间：2012/08/29
Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者:  王平;  王汝冬;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/181  |  提交时间：2012/05/11