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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
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共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 957-963
作者:  薛金来;  巩岩;  李佃蒙
caj(524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/129  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  显微物镜  平场复消色差  大视场