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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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2017 [1]
2015 [2]
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江苏科技信息 [1]
激光与光电子学进展 [1]
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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究
期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者:
缑旭
;
张永凯
;
彭石军
;
田伟
caj(277Kb)
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浏览/下载:275/114
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提交时间:2018/04/09
刚度
位移测量
噪声
激光干涉
移相器
Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术
期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:
方斌
;
田伟
;
王汝冬
;
朱岩
;
张永凯
;
王飞
caj(1539Kb)
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浏览/下载:358/149
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提交时间:2016/07/06
光学设计
光学检测
平面标准镜
有限元法
参考面面形
交叉滚柱导轨运动台模态研究
期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 30-32
作者:
张永凯
;
田伟
;
王汝冬
;
方斌
caj(201Kb)
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浏览/下载:240/104
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提交时间:2016/07/06
交叉滚柱导轨
运动台
模态分析
实验验证