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支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者:  缑旭;  张永凯;  彭石军;  田伟
caj(277Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:275/114  |  提交时间:2018/04/09
刚度  位移测量  噪声  激光干涉  移相器  
Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:  方斌;  田伟;  王汝冬;  朱岩;  张永凯;  王飞
caj(1539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:358/149  |  提交时间:2016/07/06
光学设计  光学检测  平面标准镜  有限元法  参考面面形  
交叉滚柱导轨运动台模态研究 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 30-32
作者:  张永凯;  田伟;  王汝冬;  方斌
caj(201Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:240/104  |  提交时间:2016/07/06
交叉滚柱导轨  运动台  模态分析  实验验证