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| 用于传感的聚合物微谐振环的研制 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 5
作者: 郭洪波; 鄂书林 ; 邓文渊; 孔光明
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微谐振环 传感 聚合物材料 多模耦合器(Mmi) |
| 基于多种群遗传算法的膜系优化设计 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 5
作者: 金春水
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| 基于MEMS的无阀泵研究进展 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 4
作者: 白兰; 冯志庆; 吴一辉
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Mems 微型无阀泵 扩张管/收缩管 |
| 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 3
作者: 张立超
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| 脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 2
作者: 马波; 刘波; 吴一辉; 贾宏光; 张平
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硅基 镍铁薄膜 脉冲电流 晶粒 |
| 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者: 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东
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全息光栅 光刻胶热熔法 离子束刻蚀 原子力显微镜 |
| 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者: 梁静秋
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| 一种微电解池式微流量传感器的研制 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者: 吴一辉
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| 用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 1
作者: 李英海; 巴音贺希格; 齐向东
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| 基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 5
作者: 白兰; 冯志庆; 吴一辉
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Mems 微型无阀泵 数值仿真 参数设计 |
