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| Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文 Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764 作者: Bi, Dan-Dan; Zhang, Li-Chao ; Shi, Guang![](/image/person.jpg)
浏览  |   Adobe PDF(2727Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:331/128  |  提交时间:2019/09/17 Optical films Integrated circuit manufacture Irradiation Lithography Optical coatings Optical systems |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 赵灵
Adobe PDF(3284Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:406/1  |  提交时间:2015/05/03 深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 常艳贺
Adobe PDF(4081Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:614/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 高功率半导体激光器结构研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 张金胜
Adobe PDF(4482Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:952/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究 期刊论文 光电子.激光, 2014, 期号: 5, 页码: 840-844 作者: 骆杨 ; 李天骄; 段羽
caj(379Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:354/154  |  提交时间:2015/04/17 薄膜封装 水汽透过率(Wvtr) 原子层沉积(Ald) |
| 半导体激光器腔面光学膜关键技术研究 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2010 作者: 李再金
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| 大功率半导体激光器列阵的热特性研究 学位论文 , 北京: 中国科学院研究生院, 2010 作者: 王烨
Adobe PDF(1933Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:392/2  |  提交时间:2013/03/01 |
| Al_2O_3透明多晶薄膜材料结构的XPS表征 期刊论文 人工晶体学报, 1997, 期号: Z1, 页码: 155 作者: 苏春辉; 温学恒; 端木庆铎; 王艳; 杨崴; 隋智通
caj(8Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:412/96  |  提交时间:2013/03/11 Al2o3薄膜 晶体结构 溶胶凝胶法 |