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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
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深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  常艳贺
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高功率半导体激光器结构研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张金胜
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有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究 期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 5, 页码: 840-844
作者:  骆杨;  李天骄;  段羽
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薄膜封装  水汽透过率(Wvtr)  原子层沉积(Ald)  
半导体激光器腔面光学膜关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  李再金
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大功率半导体激光器列阵的热特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  王烨
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Al_2O_3透明多晶薄膜材料结构的XPS表征 期刊论文
人工晶体学报, 1997, 期号: Z1, 页码: 155
作者:  苏春辉;  温学恒;  端木庆铎;  王艳;  杨崴;  隋智通
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Al2o3薄膜  晶体结构  溶胶凝胶法