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Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:  张立超
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提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟 期刊论文
强激光与粒子束, 1999, 期号: 01, 页码: 27-30
作者:  柯常军;  王占山;  张铁强;  曹健林;  陈星旦
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/72  |  提交时间：2013/03/11
非周期多层膜  软x射线  随机数  积分反射率