中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	一种粘滑式直线压电驱动器控制电路设计期刊论文机电工程技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 05, 页码: 217-221 作者: 王峥; 卢今伟; 张雪菲; 修吉宏浏览 \| Adobe PDF(1857Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：227/95 \| 提交时间：2023/05/18
	菲索干涉仪移相器关键技术研究学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊 Adobe PDF(3933Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：355/2 \| 提交时间：2016/04/11 菲索干涉仪移相器微位移柔性铰链压电陶瓷
	微机械中新型压电微电机致动机理分析期刊论文上海交通大学学报, 1999, 期号: 04, 页码: 98-101 作者: 马建旭; 贾志; 杨保忠; 马培荪 caj(103Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：620/103 \| 提交时间：2013/03/11 微机械压电微电机致动机理

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