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微机械中新型压电微电机致动机理分析
马建旭; 贾志; 杨保忠; 马培荪
1999-04-30
发表期刊上海交通大学学报
期号04页码:98-101
关键词微机械 压电微电机 致动机理
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31166
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
马建旭,贾志,杨保忠,等. 微机械中新型压电微电机致动机理分析[J]. 上海交通大学学报,1999(04):98-101.
APA 马建旭,贾志,杨保忠,&马培荪.(1999).微机械中新型压电微电机致动机理分析.上海交通大学学报(04),98-101.
MLA 马建旭,et al."微机械中新型压电微电机致动机理分析".上海交通大学学报 .04(1999):98-101.
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