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| 极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 王依
 caj(7582Kb) |  收藏 | 浏览/下载：273/0 | 提交时间：2019/09/23
极紫外 X射线 增反膜 碳沉积 等离子体去除 |
| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
浏览 | Adobe PDF(603Kb) | 收藏 | 浏览/下载：312/111 | 提交时间：2018/06/13 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：457/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波; 金方圆
caj(351Kb) | 收藏 | 浏览/下载：422/105 | 提交时间：2015/04/17
薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 宋源
Adobe PDF(2262Kb) | 收藏 | 浏览/下载：431/2 | 提交时间：2014/03/15
同步辐射 变包含角平面光栅 单色器 分辨率 聚焦常数 热分析 机械精度检测 |
| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
caj(416Kb) | 收藏 | 浏览/下载：531/164 | 提交时间：2014/03/07
光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
